? 如何了解
真空系統的工作原理及特點？真空系統是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統。目前，該系統廣泛應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。真空系統的控制系統由先進的PLC控制系統經過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。
啟動系統，主真空泵組開始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動停止運行，中央真空系統內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環往復，真空系統的真空度能夠維持穩定的真空源，滿足生產的要求。
真空系統自啟動后，全部運行過程可以實現全自動控制。在工作中，真空系統內各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內上下波動，其波動范圍可根據用戶要求進行調整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空系統能達到好的流程工藝
一臺真空泵啟動后達不到設定所需真空時二臺真空泵啟動至達到設定的真空值。當達到所需設定值后第臺真空泵停止接著二臺真空泵停止循環工作。真空系統可在無人操作情況下對系統進行自動控制，在停電時可自動封閉真空系統。同時控制箱可以保護真空泵馬達過載及短路。
