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設計鋼液真空處理設備的抽氣系統最主要的是選擇真空泵、系統元件的配置以及系統的合理布置等。由于鋼液真空處理時放氣量大，而且會產生高溫度氣體，因此要求抽氣系統應具有抽氣能力大、短時間抽氣即可達到所需真空度的特點。

工業規模鋼液脫氣處理初期，多采用機械泵抽氣系統（如油封式機械泵、羅茨泵、水環泵等）。但是，這些泵易被粉塵污染而損壞，而且熱的廢氣也必須用專門的冷凝器把它冷卻到真空泵能夠工作的溫度。使用水蒸氣噴射泵只要在泵的管道前設置相當小的旋風式除塵器或粉塵捕集器，即可解決粉塵對泵的污染和沉積。蒸氣噴射泵系統有獲得低壓范圍寬，抽氣量大，工作可靠，操作方便，使用壽命長，結構簡單，占地面積小，既可安裝在車間也可安裝在廠房之外，可以利用冶金生產過程中的余熱和廢氣，有利于綜合利用等一系列優點。

特正特真空機械增壓泵以簡單的羅茨真空泵原理為基礎，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。